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AL120
    发布时间: 2019-05-24 00:00    

AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

AL120

 

晶圆搬送机 AL120 规格


200 mm专用型 200 mm/150 mm 兼用型 150 mm型
AL120- 
LMB8- 
90 		AL120- 
LMB86-
180 		AL120- 
L86- 
180 		AL120- 
LMB86 		AL120- 
L86 		AL120- 
LMB6- 
150 		AL120- 
L6- 
150
晶圆尺寸（SEMI规格） 200mm 200mm / 150mm 150mm / 
125mm / 
100mm
晶圆最小厚度 90µm 180µm 400µm 150µm
片盒类型* SEMI规格：25（26）个slot
片盒数 1
检查模式 全部检查／抽样检查
搬运顺序 微观检查（显微镜检查） ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
表面宏观检查 ○ ○


○


○


背面宏观检查 ○ ○


○


○


二次背面宏观检查 ○ ○


○


○


晶圆定位（每 90º） 非接触（定位平边／V型槽） 非接触（定位平边）
适配显微镜型号 奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61
尺寸（mm） 主机部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配备显微镜时：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) 主机部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配备显微镜时：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量（kg）（仅主机部分） 44 44 41 44 41 40 37
使用环境（电源／真空） AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上

* 最多可登记10种片盒