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AL120-12
    发布时间: 2019-05-24 00:00    

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。

AL120-12

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。

人机工程学设计，操作方便

  • 可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
  • 分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。

坚固、可靠和安全传送

  • 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
  • 薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
  • 宏观观察位置的最优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。

自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
AL120-LMB12-LP3 AL120-LMB12-F
晶圆尺寸 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm
卡盒 ●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹 
●SEMI：E47.1-0200规格产品 
●FIMS-FOSB, FOSB 		●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒 
●SEMI：M31-0999规格产品
卡盒数 单盒（装载、卸载兼用）
卡盒设置高度 900 mm
装载端口 有 无
搬运顺序 表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式 全部检查、抽样检查
晶圆校准 非接触式中心环
晶圆搬运方式 真空吸附机械搬运
适用显微镜 半导体检查显微镜MX61L
应用环境 AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 
真空-67～-80 Kpa 
压缩空气0.5MPa～0.6MPa 		AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 
真空-67～-80 Kpa
载物台 XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构
重量（不包括显微镜） 约360 kg 约270 kg